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电子货架

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更新时间:2023-11-05 16:50:11浏览次数:146次

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产品简介

产品描述电子货架系统是以射频识别(RFID)技术为基础,提供了易于输送的解决方案,可在半导体生产线上追踪每个晶圆批次

详细介绍

产品描述



  • 电子货架系统是以射频识别(RFID)技术为基础,提供了易于输送的解决方案,可在半导体生产线上追踪每个晶圆批次。
  • 每个存储位置都会与晶圆批次信息自动连接,当操作人员将某批次晶圆随意放置在货架位置上时,专用开关机制便会立即启动RF信息读入过程。
  • 所有数据将会收集于一个数据库中,方便工作人员在企业内联网上任何PC终端机,通过独立操作系统的图示网络界面来查询数据。
  • 此外,正确存储位置的LED灯将会亮着让操作人员知悉该批次晶圆的实际位置,亦可根据存取方式的不同,定制Smarttag E-Rack 和 Barcode E-Rack。


产品参数
类 别
产 品 参 数
设备型号 E-Rack
外形尺寸
L1288xW340xH600 mm(可定制)
物料种类
Foup/Cassette/Mask等半导体物料
存储容量
可定制
使用环境
温度0-40 ℃ 湿度35-85%
电源
3相 220 V 50 Hz
RFID规格
发射频率134.2 KHZ,感应距离R80 mm
静电防护
防静电处理材质储位,表面阻值106-1011 Ω
设备外部结构接地,设备电源接地


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