
- 电子货架系统是以射频识别(RFID)技术为基础,提供了易于输送的解决方案,可在半导体生产线上追踪每个晶圆批次。
- 每个存储位置都会与晶圆批次信息自动连接,当操作人员将某批次晶圆随意放置在货架位置上时,专用开关机制便会立即启动RF信息读入过程。
- 所有数据将会收集于一个数据库中,方便工作人员在企业内联网上任何PC终端机,通过独立操作系统的图示网络界面来查询数据。
- 此外,正确存储位置的LED灯将会亮着让操作人员知悉该批次晶圆的实际位置,亦可根据存取方式的不同,定制Smarttag E-Rack 和 Barcode E-Rack。