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MJM系列测量金相显微镜

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产品简介

测量型金相显微镜产品用途测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器

详细介绍

测量型金相显微镜
产品用途
测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
产品特点
● X、Y、Z轴0.5μm分辨率； ● 可选配白光纳米检测模组； ● Z轴粗调/微调旋钮； ● 同轴表面光/底光测量； ● 内建偏光量测光学模块； ● 可量测透明材质纳米级高度差
规格型号	MJM-1510M	MJM-2010M
工作行程X、Y、Z轴	150100120（mm）	200100120（mm）
金属台尺寸	210*160（mm）	260*160（mm）
玻璃台尺寸	354*228（mm）	404*228（mm）
光学尺分辨率	0.5μm
示值误差	X、Y坐标≤（3+L/75）μm （L为测量长度，单位mm）
影像系统	彩色1/2"CCD摄像机；640*480像素；结合测量软件
显微镜系统	目镜：10倍
	滤光片：红，蓝，绿，白
	测量模式：反射，透射，偏光
	5孔物镜转换器
物镜放大倍率误差	包括畸变在内的放大率误差≤0.008%
总放大倍数	50X——500X
照明系统	透射照明光源：白光LED，亮度可调
	同轴照明光源：卤素灯，亮度可调
物镜
倍率	5X	10X	20X	50X
工作距离（mm）	26.1	20.2	8.8	3.68
高度量测模块（选配件）	光干涉高度量测模块（M10-CA），高度量测分辨力0.5μm（选配）
	倍率：10X，工作距离5mm，光学分辨力2μm
其它参数
外形尺寸（mm）	590560850
仪器重量（kg）	100	110
电源功耗	110V—220V 50/60Hz <>

单层透明膜厚度测量模式
高精度测量模式				快速测量模式
厚度测量范围	100nm-300nm	300nm-500nm	500nm-3μm	3μm-20μm
分辨力	5nm	5nm	7.5nm	0.1μm