评价参数 | Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Sm, S, Pc, m(rc), ??c, mr, tp, Htp, Lo, lr, Ppi, HSC, Δa, Δq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo,λa,λq, R, AR, Rx, W, AW, Wx, Wte |
轮廓分析 | 阶差 (平均, , 最小), 圆, 角度, 面积, 坐标值边缘, 倾斜角 |
截至波长 | λs | 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80, 250μm, 无滤波 |
λc | 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80*2mm, 无滤波 |
λf | 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80*2mm, 无滤波 |
取样长度 | 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80*2mm, 无滤波 |