型号 | RA-H5200AS | RA-H5200AH |
旋转工作台 | 旋转精度(JIS B 7451-1997) | 径向 | (0.02+3.5H/10000)μm H: 为测量高度 (mm) |
轴向 | (0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋转工作台轴的距离 (mm) |
旋转速度 | 2, 4, 6, 10rpm (自动定心: 20rpm) |
工作台有效直径 | Φ300mm |
调心范围 | ±5mm |
调水平范围 | ±1o |
台面承重 | 80kg (自动定心: 65kg) |
测量直径 | Φ400mm |
工件直径 | Φ680mm |
垂直移动 | 移动直线度(λc2.5) | 窄范围 | 0.05μm/100mm |
宽范围 | 0.14μm/350mm | 0.2μm/550mm |
与转台轴平行度(母线要素基准) | 0.2μm/350mm | 0.32μm/550mm |
水平移动(从工作台上部) | 350mm | 550mm |
定位速度 | : 60mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s) |
检测高度 | 350mm | 550mm |
检测深度 (使用标准测头) | Φ32×85mm (深度) |
Φ7×50mm (深度) |
X轴 | 直线度 (λc2.5) | 0.4μm/200mm |
与转台轴垂直度 (母线要素基准) | 0.5μm/200mm |
移动范围 | 225mm (–25mm ~ +200mm 从旋转中心) |
定位速度 | : 50mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s) |
检出器 | 测力 | 约 10 - 50mN, 1 - 5 级 |
标准测杆, 材质 | Φ1.6mm 硬质合金 |
范围 | 标准 | ±400μm/±40μm/±4μm |
追踪 | ±5mm |
其他 | 带IN/OUT切换功能、测力切换功能(5级切换)、测杆角度指示 |
(±45o), Z轴方向冲击探测功能、带滑动式检出器(3姿势规格) |
其他 | 气压 | 0.39MPa |
空气消耗量 (标准状态) | 45L/min (120L/min 以上气源) |
重量 | 测量主体 | 650kg | 670kg |
防震台架 | 170kg |