货号 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200S8 | CV-3200H8 | CV-3200W8 | |
CV-4500S4 | CV-4500H4 | CV-4500W4 | CV-4500S8 | CV-4500H8 | CV-4500W8 | |
测量范围 | X 轴 | 100mm | 200mm | |
Z1 轴(检出器) | 60mm (水平位置±30mm) | |
Z2 轴 (立柱) 移动范围 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm | |
Z1 轴(检出器) | 光栅尺类型 | 弧形 | |
分辨力 | CV-3200 系列: 0.04μm, CV-4500 系列: 0.02μm | |
测针上/ 下运作 | 弧形移动 | |
测量方向 | 向前/ 向后 | |
测针方向 | CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下单独测量) | |
CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根据配重调整) | |
测力 | CV-3200 系列: 30mN (上下可连续测量) | |
CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根据软件转换) | |
跟踪角度 | 向上: 77o, 向下: 83o(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针*1) | |
驱动部 | 长度基准 | X 轴 | 激光全息光栅尺 | |
Z2 轴 (立柱) | ABS 光栅尺 | |
分辨力 | X 轴 | 0.05 μm | |
Z2 轴 (立柱) | 1 μm | |
驱动速度 | X 轴 | 0 - 80mm/s 外加手动 | |
Z2 轴 (立柱) | 0 - 30mm/s 外加手动 | |
测量速度 | X 轴 | 0.02 - 5mm/s | |
直线度*2 | X 轴 | 0.8μm/100mm | 2μm/200mm | |
倾角范围 | X 轴 | ±45o | |
精度(20oC) | CV-3200 系列 | X 轴 | ±(0.8+0.01L)μm L = 驱动长度 (mm) | ±(0.8+0.02L)μm L = 驱动长度 (mm) | |
宽范围: 1.8μm/100mm | 宽范围: 4.8μm/200mm | |
窄范围: 1.05μm/25mm | 窄范围: 1.3μm/25mm | |
Z1 轴(检出器) | ±(1.6+|2H|/100)μm H = 水平位置上的测量高度 (mm) | |
CV-4500 系列 | X 轴 | ±(0.8+0.01L)μm L = 驱动长度 (mm) | ±(0.8+0.02L)μm L = 驱动长度 (mm) | |
宽范围: 1.8μm/100mm | 宽范围: 4.8μm/200mm | |
窄范围: 1.05μm/25mm | 窄范围: 1.3μm/25mm | |
Z1 轴(检出器) | ±(0.8+|2H|/100)μm H = 水平位置上的测量高度 (mm) | |
外形尺寸 (W×D×H) | 主机*3 | 756×482x966mm | 756×482x1166mm | 1156×482x1176mm | 766×482x966mm | 766×482x1166mm | 1166×482x1176mm | |
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重量 | 主机 | 140kg | 150kg | 220kg | 140kg | 150kg | 220kg | |
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