货号 | CS-3200S4 |
测量范围/ 分辨力 | X 轴 | 100mm/0.05μm |
Z1 轴 (检出器) | 5mm/0.08μm |
0.5mm/0.008μm |
0.05mm/0.0008μm |
Z2 轴 (立柱) | 1 μm |
精度(20oC) | X 轴 | ±(0.8+0.01L) μm (L= 测量长度(mm)) |
Z1 轴 (检出器) | ±(1.5+|2H|/100) μm H = 水平位置上的测量高度 (mm) |
驱动部 | 直线度 (X 轴) | 正常使用下 | 0.2μm/100mm |
当伸出到 | 0.4μm/100mm |
测量速度 | 表面粗糙度测量 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s (4-step) |
轮廓测量 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0mm/s (7级) |
驱动速度 | X 轴 (水平方向) | 0 to 80mm/s 外加手动 |
Z2 轴 (垂直方向) | 0 to 20mm/s 外加手动 |
上/下移动 | 300mm (电动) |
倾角范围 | ±45o |
检出器 | 检出方式 | 差动感应 |
测力 | 0.75mN |
测针名称 | 标准测针 (用于粗糙度/轮廓测量) | 针尖角度: 60o 圆锥, 针尖半径: 2μm, 金刚石针尖 |
圆锥型 (用于轮廓测量) | 针尖角度: 30o 圆锥, 针尖半径: 25μm, 蓝宝石针尖 |
测针上/ 下运作 | 适用 (可在半空停顿) |