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Park NX-Hivac

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产品型号NX-Hivac

品牌

厂商性质其他

所在地上海市

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更新时间：2025-02-13 09:02:05浏览次数：8次

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上海洛丰精密检测仪器有限公司

经营模式：其他

商铺产品：267条

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产品简介

Park NX-Hivac是一种的高真空原子力显微镜，旨在为在高度掺杂的半导体进行精确的失效分析。Park NX-Hivac是一台高真空原子力显微镜，利用Park的招牌技术，并提供可重复且容易实现的高清晰度和低噪声的测量，使其成为提高实验室效率和准确性的好选择。

详细介绍

特点：

◆的StepScan自动化扫描和更快的扫描激光校准技术

◆多样品模块

◆Park招牌技术便捷的针尖替换

◆大型真空腔300mm X 420mm X 320mm

◆提供较长观测距离的同轴光学设备

◆用于提高灵敏度的高真空SSRM

规格参数：

型号		Park NX-Hivac
扫描仪	XY扫描仪	50um50um(可选100um100um)
	Z扫描仪	15um
	形貌噪音	<0.03nm(标准值0.02nm）
光学	物镜	10X 500万像素CCD
电子	ADC	18个频道 4个高速ADC频道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置传感器
电子	DAC	12个频道 2个高速DAC频道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器
样品台	XY平台行程	22mm x 22mm
样品台	样品尺寸	高达50mmX50mm最多厚20mm
软件	SmartScan	Park原子力显微镜操作软件
	XEI	原子显微镜数据分析软件
	HIVAC Manager	自动真空控制软件
高真空	真空高	通常小于1 X 10-5托
高真空	抽气速率	5分钟之内可达到10-5托
物理信息	真空室（内）	300mm（长）X420mm（宽）X320mm（高）