上海洛丰精密检测仪器有限公司
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蔡司公司推出的Sigma 500场发射扫描电镜采用成熟的GEMINI光学系统设计，分辨率超过0.8nm，为您提供优秀分辨率和分析性能科研平台。Sigma500专注于的EDS几何学设计使您可以获取的分析性能。借助Sigma直观便捷的四步工作流程可以快速成像、简化分析程序、提高工作效率。您会比以往更快、更多的获取数据。多种探测器的选择使Sigma500可以精准的匹配您的应用程序：您可以获取微小粒子、表面、纳米结构、薄膜、涂层和多层的图像信息。
用于清晰成像的灵活探测：
◆利用探测术为您的需求定制 Sigma，表征所有样品。
◆利用 in-lens 双探测器获取形貌和成份信息。
◆利用新一代的二次探测器，获取高达50%的信号图像。在可变压力模式下利用 Sigma 创新的 C2D 和 可变压力探测器，在低真空环境下获取高达85%对比度的锐利的图像。
自动化加速工作流程：
◆4步工作流程让您控制 Sigma 的所有功能。在多用户环境中，从快速成像和节省培训首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。
◆首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。
◆接下来对样品感兴趣的区域进行优化并自动采集图像。最后使用工作流程的步，将结果可视化。
高级分析型显微镜：
◆将扫描电子显微镜与基本分析相结合：Sigma 的背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品。
◆在一半的检测束流和两倍的速度条件下获取分析数据。
◆8.5 mm 短的分析工作距离和35°夹角，获取完整且无阴影的分析结果。
灵活的检测器选项，获取清晰图像：
◆使用新颖的ETSE和Inlens探测器在高真空下获取高分辨率表面形貌信息。
◆使用VPSE或C2D检测器在可变压力模式下获得清晰图像。
◆使用aSTEM检测器生成高分辨率透射图像。
◆使用HDBSD或YAG检测器分析成分。
技术参数：
| 分辨率： | 1.0nm@30kV STEM | 1.0nm @15 kV | 1.8nm @1kV |
| 加速电压 | 0.02—30KV | ||
| 放大倍数 | 10—1000000x | ||
| 探针电流 | 调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现） | ||
| X-射线分析工作距离 | 8.5mm 35度接收角 | ||
| 低真空压力范围 | 2-133Pa （Sigma 300VP可用） | ||
| 工作室 | 365 mm（φ），275mm（h） | ||
| 5轴优中心自动样品台 | X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360°连续 | ||
| 系统控制 | 基于Windows 7 的SmartSEM操作系统 | ||
| 存储分辨率 | 32,000 x 24,000 pixels | ||
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