产品特点:
◆高分辨
由于采用了共聚焦成像原理,Smartproof 5将传统光学分辨率提高1.4倍,其XY方向线分辨率达到120 nm。
◆高测量精度
同时,在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上,Smartproof 5配备了精度高、重复性好的Z轴自动步进装置,最小步进精度达到1nm,这使得高度上亚微米,甚至纳米尺度的非接触式精确测量成为可能。
◆高速扫描
传统共聚焦采用点扫描成像,速度较慢;而Smartproof 5采用转盘扫描,成像速度大大提高,的高精度模式扫描速度超过50幅/秒(2048*2048分辨率),可以说瞬间即可得到测量结果,大大提高工作效率。
◆真实色彩还原
还可使用三色LED 光源,能够展现被测试样表面的真实颜色,从而将传统黑白共聚焦扫描显微镜拓展到更广阔的应用领域。
技术参数:
◆1. 波长:405nm
◆2. 分辨率:120nm
◆3. Z轴最小步进精度:1nm
◆4. 成像速度:常规共聚焦的2-3倍
◆5. 物镜:2.5x-100x
◆6. 高度扫描范围:高达5mm
◆7. 载物台:150mm×150mm超大行程
◆8. 控制系统:Smartproof 5应用软件
◆9. 图像处理和数据测量 :
2D:距离,高度,角度,构造元素,基于ISO 4287的轮廓粗糙度
3D:水平距离,3D距离,高度,角度,构造点,面积,体积,基于ISO 25178的面粗糙度
其他:水平调整,形状去除,滤波,去噪,报告
应用:
◆1. 汽车制造:研究活塞的摩擦磨损、特殊要求的部件表面粗糙度测量、焊接组件及接缝处的角度测量
◆2. 航空航天工业:评价橡胶密封圈的磨损、特殊要求表面 的粗糙度分析
◆3. :植入器官的表面测量
◆4. 微光学/机械制造:敏感精密光学部件的表面测量、精密机械部件的精密几何测量
◆5. 电子:导线的几何量测量(宽度,厚度等)、焊接结点的质量过程控制
◆6. 造纸:纸张以及印刷品的表面测量