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上海衡鹏企业发展有限公司
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产品型号
品 牌
厂商性质其他
所 在 地上海
物流技术网采购部电话:0571-88918531QQ:2568841715
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更新时间:2023-07-04 08:01:48浏览次数:110次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:28条
所在地区:
STK-7060半自动晶圆真空贴膜机特点:8"晶圆适用设计的无滚轮真空贴膜自动胶膜进给及贴膜手动晶圆上下料自动圆形轨迹切割胶膜蓝膜、UV胶膜可选工控机+Windows系统配置光帘保护功能
STK-7060半自动晶圆真空贴膜机特点:
8"晶圆适用
设计的无滚轮真空贴膜
自动胶膜进给及贴膜
手动晶圆上下料
自动圆形轨迹切割胶膜
蓝膜、UV胶膜可选
工控机+Windows系统
配置光帘保护功能,和紧急停机按钮
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控
STK-7060半自动晶圆真空贴膜机性能:
贴膜品质
没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡)
Cycle Time
≤ 45秒(不包含上料/下料时间)
MTBF
>168小时
MTTR
<1小时
停机时间
<3%
更换产品时间
≤ 30分钟
STK-7060半自动晶圆真空贴膜机规格参数:
晶圆直径
8"晶圆
晶圆厚度
100~750微米
晶圆种类
硅, 砷化镓或其它材料;单平边,双平边,V型缺口
膜种类
蓝膜或者UV膜
宽度:220-240毫米
长度:100米
厚度:0.05~0.2毫米
贴膜方法
的真空贴膜,无滚轮;膜张紧度可控
晶圆台盘
接触式晶圆台盘,用于薄晶圆
晶圆台盘加热
可达80℃ (对应接触式台盘,可选)
晶圆放置精度
X-Y: +/- 0.5毫米; Θ : +/- 0.5°
装卸方式
手动晶圆放置与取出;晶圆在位置检测
已用胶膜回卷
自动回卷已使用的胶膜;可检测膜尾
防静电控制
去离子风扇
切割系统
自动圆形轨迹切割
控制单元
基于PC控制,10.4"触摸屏
电源电压
单相交流电220V,10A
压缩空气
60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺
真空供应
高真空供应装置,用于给真空腔提供真空
灯塔
三色灯塔和蜂鸣器,用于操作状态监测
安全
配置安全光帘和紧急停机开关
体积
950毫米(宽)*1300毫米(深)*1800毫米(高)
净重
300公斤
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