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更新时间:2023-04-06 12:09:39浏览次数:76次
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Hiden’s XBS system provides in-situ monitoring of multiple sources with real-time signal output for precise control of the deposition.
XBS三级滤过四极质谱(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System),适于精确的MBE分析,其他气体分析和科学实验使用。Windows™ 界面的MASsoft软件通过RS232、RS485 或以太网控制。
·离子源控制,用于软离子化和表观电势质谱 ·灵敏度增强用于大质量数的传输,自动质量数范围列表
·一级过滤处增加射频,抗污染物能力增强 ·内置UHV 兼容的水冷却罩
·灵敏度高,检测范围: 99% 至5ppb
·质量数范围: 0~ 510amu ·长期稳定性: 24h以上,峰高变化小于±0.5%) ·交叉离子源,束接收角同轴的横断面呈 ±35° ·2mm 束接受孔,也可为特殊使用者配置 ·分子束研究中,检测极限低至30 ions/s ·监测生长速率: 1Å / min,或更低
XBS Monitor for the Molecular Beam Epitaxy Process (390 KB)
Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)
PSM等离子体质量和能量分析质谱仪
EQP等离子体质量和能量分析质谱仪
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