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更新时间:2023-01-23 14:59:06浏览次数:88次
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A system for UHV analysis of neutrals, radicals and ions. Measures the ions, neutrals, and partial pressures in UHV/XHV.
EPIC离子/分子分析质谱仪(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)是带脉冲离子计数和四级杆偏压控制的三级过滤四极质谱仪,用于高精密科学分析,过程研究以及中性粒子、自由基、正负离子的UHV分析。
EPIC离子/分子分析质谱仪可增加能量过滤器、Bessel Box能量分析器或45°扇形能量分析器,升级至Hiden的Plasma/ SIMS系列EQP,EQS,PSM 和Maxim。
·6、9、12 mm 直径的四极杆可选
·±100 eV离子能量分布,1000 eV可选
·离子源控制,以实现软离子化及表观电势质谱
·脉冲离子计数器,连续7个数量级动态范围,Faraday 选项为5x1010
·一级过滤处增加射频,增强抗污染物能力
·信号选通分辨率0.1μs,用于能量、质量分布随时间变化或TOF研究中
·程序升温脱附时,温度数值同步显示
·标配UHV罩,液氮冷却罩可选
·MASsoft专业软件控制
·可升级至Plasma/ SIMS 配置
·质量数范围: 1~300 amu(标准配置)
500、1000、2500 amu(选配)
·测量速度: 500 points/s
·分辨率: 0.1% Valley、1% Valley
·动态范围: 107
·检测分压: 5 X 10-15 mbar ,1X10-16 mbar
·离子能量: ±100eV(标准配置)
±1000eV(选配)
·信号选通分辨率:0.1µs
·稳定性: 24h以上,峰高变化小于±0.5%
3F Series Mass Spectrometers (0.68MB)
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