捷欧路JEOL JSM-7900F 热场发射扫描电子显微镜新一代FE-SEM旗舰机型。 它继承了上一代广获好评的如的空间分辨率、高稳定性、多种功能等性能的同时,操作性能极大地简单化。 该设备不依赖操作者的技能,始终能够发挥其性能。
捷欧路JEOL JSM-7900F 热场发射扫描电子显微镜主要特点:
新一代电子光学控制系统Neo Engine(New Electron Optical Engine),是JEOL电子光学技术荟萃的结晶。 它综合了透镜控制系统和自动化技术,即使改变电子光学条件,光轴的偏离也极小,大大提高了可操作性及观察精度。 无论是谁都可以很简便地发挥出仪器原本的功能。GBSH 是在低加速电压下提高分辨率的一种方法。 新开发的GBSH-S可以给样品台施加高达5 kV的偏压。 因此,使用GBSH模式不需要使用专用的样品杆就可以无缝过渡到其他模式。
分辨率 | 1.1 nm (0.5 kV)*1、1.0 nm*2 0.7 nm (1 kV)*1、0.7 nm*2 0.7 nm (15 kV)*1、0.6 nm*2 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)*1 *1: Gap method、*2:Edge method |
倍率 | ×25 ~ ×1,000,000 |
加速电压 | 0.01 ~ 30 kV |
探针电流 | 数 pA ~ 500 nA |
检测器(标配) | 高位检测器(UED)、低位检测器(LED) |
电子枪 | 浸没式肖特基Plus场发射电子枪 |
光阑角控制镜 | 内置 |
物镜 | 超级混合式物镜/SHL |
自动功能 | 自动聚焦、自动消像散、自动调节亮度、自动调节衬度 |
大景深模式(LDF) | 内置 |
样品台 | 全对中测角样品台 |
样品移动 | X:70mm Y:50mm Z:2 ~ 41mm 倾斜轴:-5 ~ 70° 旋转:360° |
马达驱动 | 5轴马达驱动 |
样品交换室 | 直径: 100mm 高度: 40mm |
抽真空系统 | SIP、TMP、RP |