深圳市泰弈智能科技有限公司
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由于压电片在变形过程中不受机械摩擦力，并且压电片具有响应快等特点。基于压电阀片的电气比例阀比传统的电磁式电气比例阀在性能方面优势明显。比如压电比例阀利用压电原件与半导体传感器，通过对电气比例信号的调节，可高精度，高响应、无噪音的对气体的压力与流量进行无级控制。
| 型号 | FPMQ05 | FPMQ20 | FPMQ50 | FPMQ75 | FPMQA0 |
| 流量 | 0~5L/min | 0~20L/min | 0~50L/min | 0~75L/min | 0~100L/min |
| 使用压力 | 0.3Mpa | 0.25Mpa | 0.2Mpa | ||
| 电源电压 | 24VDC±10% | ||||
| 输入信号 | 电压型，DC0~10V 电流型，DC0~20mA | ||||
| 监控信号 | DC0~10V | ||||
| 功耗 | ≤1W | ||||
| 工作介质 | 氧气(氧气应用仅根据要求提供，参考IEC60601-1标准) 压缩空气，符合ISO8573-1空气纯度 惰性气体 氮气 | ||||
| 过滤精度 | ≤5 μm过滤精度 | ||||
| 流量精度 | <±3%FS | ||||
| 重复精度 | <±1%FS | ||||
| 迟滞 | <2.5%FS | ||||
| 响应时间 | <20毫秒 | ||||
| 使用温度范围 | 0 ~ 50℃ | ||||
| 防护等级 | IP65 | ||||
| 外壳材料 | 铝合金、不锈钢、树脂 | ||||
| 输出流量显示 | 0.01L/min | 0.1L/min | |||
| 注:零点校准 | 仅原厂校准 | ||||
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