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YAMATO 等离子清洗机 PDC200/210/510

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产品简介

技术应用链接:使用等离子的表面处理装置

详细介绍

技术应用链接:

使用等离子的表面处理装置。着重于"使用简单"的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。

特点
● CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
● 去除有机膜和金属氧化膜
● 印刷电路基板的干式清洗
● 界面活性处理
● LED封装

用途
● DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）
● RIE模式
● 均匀性高的电极构造
● 操作简单的触摸屏控制器

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型号	PDC200	PDC210	PDC510
等离子模式	RIE（DP模式选配）		RIE/DP
电极构造	平行平板（固定）
高频输出	Max300W	Max500W
频率	13.56MHz
控制·显示	液晶触摸屏
反应室尺寸	W400×D250×H150mm		W500×D300×H200mm
电极尺寸	W250×D170mm		W400×D200mm
反应室材质	铝
反应气体	2系统（Ar、O2）
填充气体	N2或干燥空气
反应气体流量控制	流量计	聚合控制器
真空泵	另行选配	油泵（约345L/分）标配	油泵（约500L/分）标配
气体导入口	反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸	W540×D600×H600mm	W540×D600×H600mm	W700×D700×H1285mm
重量	约100kg	约105kg	约180kg
电源	单相 AC100V 10A	三相AC200V 6A	三相AC200V 8A

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