上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener Tetra30PCCE 等离子清洗机
Tetra 30 等离子系统能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。
在下文中您可以大致了解能够与 Tetra 30 等离子系统一同使用的见的选装件。
Tetra 30 等离子系统主要应用于以下领域：
分析 (REM, TEM)
考古
汽车行业
生物技术
弹性体技术
电子技术
电子显微镜
精密工程
研究和开发
半导体技术
小批量生产
塑料技术
医疗技术
微系统技术
太阳能电池技术
纺织技术
基本设备
根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本，分为 34 - 57 升
供电电源： 230 V 或者 400 V / 3 相位
气源
质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
矩形不锈钢件，配有铰链的门
（约宽 305 mm、高 300 mm x 深 370 mm 或者 625 mm）
装载件
产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
电极
单层或多层
具有气体喷淋的 RIE 电极
控制系统
PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
压力测量
Pirani
Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器
数字型
发生器
| 频率： | 40 kHz: 功率 0 - 1000 W；0 - 1500 W；0 - 2500 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W；0 - 600 W | |
| 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W；0 - 1200 W |
所有发生器均为 0 - 99% 无级可调型
真空泵
规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
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