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高真空阀

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更新时间：2022-11-12 09:03:23浏览次数：178次

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SMC（中国）有限公司

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产品简介

高真空阀

详细介绍

铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G

	・采用铝制主体　均一的烤焙温度　重量轻、外形紧凑　放出气体少　重金属污染少・可更换波纹管

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其他资料

系列	操作方式	阀形式	轴密封方式	用途	法兰尺寸
XLA-2	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	除尘净化	16～80
XLAV-2（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	除尘净化	16～80
XLC-2	气控	双作用	波纹管密封	除尘净化	16～80
XLF-2	气控	单作用（N.C.）	O形圈密封	高速动作高动作次数	16～80
XLFV-2（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	O形圈	高速动作高动作次数	16～80
XLG-2	气控	双作用	O形圈	高速动作高动作次数	16～80

铝制高真空L型阀XLA/C/F/G

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XLA-2
XLAV-2（带电磁阀）
XLC-2
XLF-2
XLFV-2（带电磁阀）
XLG-2

铝材质高真空L型阀 XLA/C-100・160（-1）-X152

	・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）・寿命：200万次・可实现装置的省空间化　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧两方向均可) 　安装姿势的自由度提升・轻量、紧凑

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其他资料

系列	操作方式	阀形式	轴密封方式	用途	法兰尺寸
XLA-100・160-X152	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	除尘净化	100、160

铝材质高真空L型阀XLA/C-100・160（-1）-X152

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XLA-100・160-X152

铝制高真空L型阀 XL□

	・耐氟。・放出气体量少。・重金属污染少。 ※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。　请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。

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其他资料

系列	操作方式	阀形式	轴密封方式	用途	法兰尺寸
XLA	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	防尘净化	16～160
XLAV（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封	除尘净化	16～160
XLC	气控	双作用	波纹管密封	除尘净化	16～160
XLCV（带电磁阀）	气控	双作用	波纹管密封	除尘净化	16～80
XLF	气控	单作用（N.C.）	O形圈密封	高速动作高动作次数	16～160
XLFV（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	O形圈	高速动作高动作次数	16～160
XLG	气控	双作用	O形圈	高速动作高动作次数	16～160
XLGV（带电磁阀）	气控	双作用	O形圈	高速动作高动作次数	16～80
XLD	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封 O形圈密封	防止扬尘防止泵过载	25～160
XLDV（带电磁阀）	气控	单作用（N.C.）	波纹管密封 O形圈密封	防止扬尘防止泵过载	25～160
XLH	手动	手动	波纹管密封	除尘净化	16～50
XLS	电磁式	单作用（N.C.）	(波纹管平衡)	无需空气可搬运装置用	16，25

铝制高真空L型阀XL□

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XLA
XLAV（带电磁阀）
XLC
XLCV（带电磁阀）
XLF
XLFV（带电磁阀）
XLG
XLGV（带电磁阀）
XLD
XLDV（带电磁阀）
XLH
XLS

铝制快速拆装型高真空L型阀 XLAQ・XLDQ

	・快速拆装（无需工具）。

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其他资料

系列	操作方式	轴密封方式	阀形式	材质	法兰尺寸
XLAQ	气控	波纹管密封	单作用（N.C.）	主体：铝波纹管：SUS316L	16～50
XLDQ	气控	波纹管密封 O形圈密封	单作用（N.C.）	主体：铝波纹管：SUS316L	40，50

铝制快速拆装型高真空L型阀XLAQ・XLDQ

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XLAQ
XLDQ

不锈钢制高真空L型／直线型阀 XM/XY

	・无气体积留的精密铸造结构。・铝制高真空L型阀，安装上具有与XL系列的互换性（XM系列）。注）直线型无尺寸16。

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其他资料

系列	操作方式	轴密封方式	阀形式	材质	法兰尺寸
XMA/XYA	气控	波纹管密封	单作用（N.C.）	主体：SCS13（相当于SUS304）波纹管：SUS316L	16～80 注）
XMC/XYC	气控·	波纹管密封	双作用	主体：SCS13（相当于SUS304）波纹管：SUS316L	16～80 注）
XMD/XYD	气控	波纹管密封 O形圈密封	单作用（N.C.）	主体：SCS13（相当于SUS304）波纹管：SUS316L	25～80
XMH/XYH	手动	波纹管密封	手动	主体：SCS13（相当于SUS304）波纹管：SUS316L	16～50 注）

不锈钢制高真空L型／直线型阀XM/XY

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XMA/XYA
XMC/XYC
XMD/XYD
XMH/XYH

常闭型高真空电磁阀 XSA

	・使用压力：1×10^-6Pa(abs) ・泄漏量：内部1.3×10^-9Pa・m³/s、外部1.3×10^-11Pa・m³/s。・有2种接头和内螺纹可选。・消耗功率：最多削减25％。・质量：最多减小18％　0.5kg→0.41kg。

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其他资料

系列	阀形式	使用流体	配管连接方式	配管尺寸
XSA	常闭	空气惰性气体	面密封接头卡套式接头	1/4, 3/8
XSA	常闭	空气惰性气体	Rc, NPT内螺纹	1/8, 1/4, 3/8

常闭型高真空电磁阀XSA

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XSA
XSA

平稳排气阀 XVD

	・阀与针阀一体化，配管空间为原来的1/4。・密封部采用金属膜片，大幅减少了微粒的产生。・初始供气、主給気可同时进行流量调节。