分光光谱仪种类
膜厚测量
半导体晶圆膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜)光阻剥离液厚度、湿状薄膜涂布膜(Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头)树脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、机能性薄膜、包裝膜
膜厚测量(分光光谱仪 + 显微镜)
半导体晶圆膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜)光阻剥离液厚度、湿状薄膜塗布膜(Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头)树脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、机能性薄膜、包装膜。

影印機感光鼓膜厚度量測
半导体晶圆膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜)光阻剥离液厚度、湿狀薄膜塗布膜(Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头)树脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、机能能性薄膜、包装膜
LB膜测量

蒸馏膜测量
多点膜厚测量