基本参数
| 机架 | 东信喷塑 |
| 腔体 | 进口316不锈钢 |
| 真空泵 | 双泵组合 |
| 角阀 | 北仪 |
| 流量控制器 | sevenstart |
| 真空显示仪 | sevenstar |
| 电源匹配器 | 美国COMDEL |
| 射频电源 | 美国COMDEL（13.56MHz） |
| PLC | 三菱 |
| 电气系统 | 施耐德 |
| 变频器 | 三菱 |
| 触摸屏 | 中国台湾威纶 |
| 冷却电极 | 水冷 |
| 真空显示规管 | 宝睿 |
设备特点
腔体结构说明：单轴电极设计，储物腔利用电磁驱动原理，采用旋转模式，这样产品可在腔内无序接受等离子处理，非常适合小产品大批量的反应。 结构对称，功率损耗小，有效工作能量高；
空间利用率高，提高生产能力，增加产能；
设备运行过程不需要人员守候，运行完报警提示；
整机程序自动化，一个操作员即可；
气体流量在触摸屏设定、精确监控显示，节约气源；
设备优势
等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。相比传统的一些清洗方法，如超声波清洗、UV清洗等，具有很多优点 处理温度低。处理温度可以低至30℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面无造成热影响。
处理全程无污染，等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
处理效果稳定。等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。
可以处理各种形状的样品 对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。 真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
