深圳市东信高科自动化设备有限公司
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产品简介： 在线等离子清洗机
目前, 等离子清洗设备主要有批量式及在线式两种。在线式等离子清洗机采用自动的清洗方式, 适用于大规模的生产线, 节省人工, 降低劳动力成本, 大大缩短了整个工艺流程的时间, 使清洗效率获得极大的提高, 优势明显。
这些优点主要与在线式等离子清洗机的工艺及设备腔体结构有关, 高自动化的在线式等离子清洗属于非遮挡式清洗, 无人为的二次污染及静电损伤, 被清洗工件自动放置在腔底的陶瓷悬浮极上, 各个位置等离子体条件均匀一致, 短短的时间内就能够达到要求的清洗效果。由于清洗时间短, 腔体内部温升小, 所以无溅射及过热损伤,。
等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。针对不同的清洗对象可选择O2、H2和Ar等工艺气体进行短暂的表面处理。
1.1 化学反应为主的清洗
利用等离子体里的高活性自由基与材料表面的有机物等做化学反应, 又称PE。采用氧气进行清洗, 使非挥发性的有机物变成易挥发的形态, 产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的优点是清洁速度高、选择性好和对清洗有机污染物比较有效, 主要缺点是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引线键合工艺中, 氧化物是最不希望有的, 这些缺点可以通过适当选择工艺参数进行避免。
1.2 物理反应为主的清洗
利用等离子体里的离子做纯物理的撞击, 把材料表面附着的原子打掉, 也称为溅射腐蚀 (SPE) 。采用氩气进行清洗, 氩离子以足够的能量轰击器件表面, 撞击力足以去除任何污垢。聚合物中的大分子化学键分离成小分子而汽化, 通过真空泵排出。同时经过氩等离子清洗后, 能够改变材料表面的微观形态, 使材料在分子级范围内变得更加“粗糙", 可大幅改善表面活性, 提高表面的粘结性能。氩等离子的优点是清理材料表面不会留下任何氧化物。缺点是可能发生过量腐蚀或污染物颗粒重新积聚在其他不希望的区域, 但是这些缺点可通过细调工艺参数得到控制。
1.3 物理化学反应同时存在的清洗
反应中物理反应与化学反应均起重要作用的清洗。
如采用Ar和O2的混合气体进行在线式等离子清洗过程时, 反应速率比单独使用Ar或O2都要快。氩离子被加速后, 产生的动能又能提高氧离子的反应能力, 因此用物理化学方法可清除污染较为严重的材料表面。
随着微电子封装向小型化方向发展, 表面清洗的要求越来越高, 在线式等离子清洗的诸多优点, 将使它成为表面清洗工艺选择方案之一, 作为发展潜力的清洗方式, 将被应用于越来越多的领域。同时, 在线式等离子清洗机非常有利于环境保护, 清洗后不会产生有害污染物, 这在高度关注环保意识的情况下越发显示出它的重要性。
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