深圳市东信高科自动化设备有限公司
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产品介绍型号真空等离子清洗机TS-PL180MA外形尺寸(mm)W1200×D1200×H1730真空腔体尺寸(mm)W500×D600×H600腔体材质进口316不锈钢等离子发生器13
| 型号 | 真空等离子清洗机TS-PL180MA |
| 外形尺寸(mm) | W1200×D1200×H1730 |
| 真空腔体尺寸(mm) | W500×D600×H600 |
| 腔体材质 | 进口316不锈钢 |
| 等离子发生器 | 13.56Mhz /40Khz |
| 真空泵 | 干泵/油泵可选 |
| 功率 | 0~1000W 可调 |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 极板数量 | 9 |
| 电源 | AC 380 v |
真空等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。真空等离子清洗机的原理是先产生真空,在真空状态下,压力越来越小,分子间间距越来越大,分子间力越来越小,利用射频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子,然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去,从而达到表面清洁活化的目的。
气体种类:待处理物件的基材及其表面污染物具有多样性,而不同气体放电所产生的等离子体清洗速度和清洗效果又相差甚远。因此应该有针对性地选择等离子体的工作气体,如可选用氧气等离子体去除物体表面的的油脂污垢,选用氢氩混合气体等离子体去除氧化层。
放电功率:放电功率增大,可以增加等离子体的密度和活性粒子能量,因而提高清洗效果。例如,氧气等离子体的密度受放电功率的影响较大。
暴露时间:待清洗材料在等离子体中的暴露时间对其表面清洗效果及等离子体工作效率有很大影响。暴露时间越长清洗效果相对越好,但工作效率降低。并且,过长时间的清洗可能会对材料表面产生损伤。
其他:等离子体清洗工艺中的气体分配、气体流量、电极设置等参数也会影响清洗效果。因此需要根据实际情况和清洗要求设定具体的、适合的工艺参数。
TS-PL180MA真空等离子清洗机，整机紧凑，性能稳定，处理效果均匀稳定，核心部件进口配置，相对于进口设备，性价比高。等离子体清洗技术自问世以来,其应用便随着电子等工业的快速发展而逐渐增多。目前,等离子体清洗在半导体与光电工业,汽车、航空航天、医学、装饰等多个技术领域得到推广应用。近年来,等离子体清洗技术已经被广泛应用在聚合物表面活化、电子元器件制造、塑料胶接处理、提高生物相容性、防止生物污染、微波管制造、精密机械零件清洗等领域。
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