深圳市东信高科自动化设备有限公司
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产品介绍可用于大规模连续生产
可用于大规模连续生产；
的电极结构，确保等离子体的均匀性；
适合各种形状产品；
自主研发集成控制系统软件，操作便捷；
多功能安全保护，安全性高；
可按照需求进行定制；
清洗：有效去除纳米级有机污染物，增强与其他表面的附着力
活化：改变表面润湿性，使表面亲水或疏水
改性：在产品表面引入功能组，羟基、羧基
灭菌：去除微生物污染物
聚合：沉积具有功能端基的聚合物，在等离子体活化表面接枝聚合物
| 型号 | 容量 | 功率 | 腔体尺寸 | 处理层数 | 外形尺寸 |
| TS-PL60MA | 60 | 0-500W（可调） | 400*450*400（mm） | 11 | 1000*1030*1630（mm） |
| TS-PL100MA | 100 | 0-500W（可调） | 500*450*500（mm） | 15 | 1100*1030*1680（mm） |
| TS-PL150MA | 150 | 0-1000W（可调） | 500*500*600（mm） | 17 | 1200*1100*1730（mm) |
| TS-PL200MA | 200 | 0-1000W（可调） | 500*580*700（mm) | 21 | 1250*1230*1790（mm） |
| 电源频率 | 13.56MHz/40KHz（选配） |
| 真空泵 | 油泵/干泵+罗茨组合 |
| 腔体材质 | 进口316不锈钢/铝合金（选配） |
| 气体流量 | 0-500ccm |
| 气体管道 | 2路（可增加） |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
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