北京北方大河仪器仪表有限公司
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GF135系列金属密封热质量流量控制器半导体产品金属密封热使用GF135诊断式压力变化补偿型(PTI)质量流量控制器确保关键流量过程的准确控制并使通量
GF135 系列金属密封热质量流量控制器
半导体产品
金属密封热
使用 GF135 诊断式压力变化补偿型 (PTI) 质量流量控制器确保关键流量过程的准确控制并使通量。“智能"质量流量控制器，该产品执行累积衰减比流量测定，无需停止过程气体输送。半导体制造商可利用该产品实时验证过程气体流量准确性、检查泄漏情况并监视传感器稳定性同时无需将流量控制器从气路上拆除。
GF135 PTI MFC 将全金属接液流路、稳定功能和过程气体精度相结合，能够改变各种淀积工艺的生产效率和吞吐率。
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