轨道式匀胶显影机适用于8英寸及以下晶圆的匀胶显影工艺设备配置:2套匀胶（显影）单元、4套热（冷）板单元可选8寸以下多种wafer尺寸全自动匀胶/显影,烘烤工艺处理整机性价比高,适合产能要求适中的批量产线根据客户工艺需求可加装等离子风棒等模块可选配MES协议转换模块
显影机
显影是指用还原剂把软片或印版上经过曝光形成的潜影显现出来的过程。PS版的显影则是在印版图文显现出来的同时，获得满足印刷要求的印刷版面和版面性能。显影机是将晒制好的印版通过半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备。
产品介绍
适用于8英寸及以下晶圆的匀胶显影工艺
设备配置:2套匀胶(显影)单元、4套热(冷)板单元
可选8寸以下多种wafer尺寸全自动匀胶/显影,烘烤工艺处理
整机性价比高,适合产能要求适中的批量产线
根据客户工艺需求可加装等离子风棒等模块
可选配MES协议转换模块
产品参数
主轴旋转速度范围:20-5000rpm
主轴加速度范围:20-20000rpm/s
主轴转速精度:±1rpm
热盘温度范围:50℃-200℃
热盘温度均匀性:±1%
适用光刻胶粘度:0-1000Cp(可选高粘度光胶机台)
光刻胶或显影液管路:≤3路
设备尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)
