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全自动清洗机

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产品简介

全自动清洗机适用于2至6英寸晶圆的清洗工艺6寸以下wafer全自动清洗工艺处理适合产能要求较高的批量产线可选配MES协议转换模块

详细介绍

全自动清洗机

清洗机，用于冲洗过滤液压系统在制造、装配、使用过程及维护时生成或侵入的污染物；也可以适用于对工作油液的定期维护过滤，提高清洁度，避免或减少因污染而造成的故障，从而保证液压系统设备的高性能、高可靠度和长寿命。

产品介绍
适用于2至6英寸晶圆的清洗工艺
6寸以下wafer全自动清洗工艺处理
适合产能要求较高的批量产线
可选配MES协议转换模块

产品参数

设备配置:4套清洗单元
旋转速度范围:20-5000rpm
加速度范围:20-5000rpm/s
清洗喷嘴类型:NANO Spray
配置CO2除静电系统、等离子静电消除器等
流量控制:浮子式流量计(可选超声波流量计)
设备尺寸:1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)

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