真空腔体: ●真空腔体:φ300 mm x 300 mm H,采用不锈钢制作 ●观察窗口:φ100 mm ●腔体打开方式采用上顶开,使得换靶更加容易 气体流量控制器: ●仪器内部安装有2个质量流量计,量程为:0-100sccm ●气体流量设置可以在6英寸的触摸屏上进行操作 ●此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含) 真空系统: ●配有一套GZK-103D分子泵系统(德国制作) ●标准5E-5mbar 极限7.4E-6mbar(仅供参考,详情请点击) 薄膜测厚仪(可选): ●一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å ●LED显示屏显示,同时也输入所制作薄膜的相关数据 产品尺寸:L 1300mm× W 660mm× H 1200mm 净重:160 kg |