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上海续波光电技术有限公司


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金属薄膜制备专用热蒸镀镀膜系统

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金属薄膜制备专用热蒸镀镀膜系统
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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间：2022-09-01 10:22:36浏览次数：69次

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上海续波光电技术有限公司

经营模式：其他

商铺产品：86条

所在地区：上海上海

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产品简介

型号：MEB450S

详细介绍

型号：MEB450S，   产地：欧洲，  应用：沉积金属薄膜

 

蒸镀腔体：高600mm、宽450mm、深450mm

热蒸镀源：6个热蒸镀源

 

样品台： 可加载4×60mm衬底

衬底旋转：10 rpm

衬底加热：热阻丝加热可达300℃

                  采用热电偶控温

 

厚度控制：采用 石英晶振膜厚控制仪

 

衬底清洗及刻蚀：

                 配备直流离子枪

                 Ar、N2气路用于反应离子束刻蚀

                 刻蚀不均匀性±4% @ 60mm晶圆

                 离子枪到衬底距离为300mm

              

控制系统：全自动控制，半自动和手动模式可用

        支持多级用户权限设置和管理
 
        支持设备远程操作、监控、诊断和维护
       
        系统自动报警及定位故障

 

 

若对我们的设备感兴趣，欢迎联系我们！

 

 


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主营产品：质谱仪


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