上海续波光电技术有限公司
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多腔体磁控溅射团簇系统（用于金属和氧化物）
关键词：磁控溅射、超高真空、金属膜、氧化膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、
多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system
Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction
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