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上海续波光电技术有限公司


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MEB800S离子束辅助沉积光学镀膜系统(Ion beam assisted deposition)

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间:2022-08-30 10:43:29浏览次数:133次

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经营模式:其他

商铺产品:86条

所在地区:上海上海

产品简介

关键词:电子束蒸镀、热蒸镀、离子束辅助沉积、高真空镀膜设备、光学监控系统、OMS、金属膜、氧化膜、IBAD、IBD、光学薄膜、紫外、红外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/铝复合膜热蒸发源:多个电子束蒸发源:多坩埚高真空系统:低温泵+干泵

详细介绍

关键词:电子束蒸镀、热蒸镀、离子束辅助沉积、高真空镀膜设备、光学监控系统、OMS、 金属膜、

              氧化膜、IBAD、IBD、光学薄膜、紫外、红外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/铝复合膜

 

 

热蒸发源:多个

 

电子束蒸发源:多坩埚

 

高真空系统:低温泵+干泵,真空度<10-7 Torr

 

样品台:可接纳4个6英寸衬底

 

膜厚检测系统:多个晶振检测探头

沉积速率分辨率:0.01A/s

 

离子束辅助沉积

 

光学监控系统:多个探头、多波段。

监控范围:220nm-2200nm

高精度镀膜

 

电脑控制:全自动软件


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