2024-12-03 12:11:4225
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编号内容规格参数备注1处理宽幅100mm～600mm（可定制）2真空腔1200L（可定制）3电源系统2KW～10KW等离子体发生源4控制系统触摸屏+PLC自动控制5进气系统标配2路工作气体，可扩展至5路工作气体（Ar2、N2、H2、CF4、O2
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