2023-04-13 10:22:24109
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光罩技术的GM超高精度影像式测量仪系列，为七光罩技术制造而成，此类机种的精度几乎不受机械误差及阿贝误差影响，尤其是X、Y轴行程在600mm×500mm以上的机型，无论是XY轴向精度，还是XY平面坐标精度皆能在5μ内。
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