12025-05-07 06:24:3936
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小流量气体流量计（MassFlowController）是基于业内的微机电（MEMS）流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。
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