2023-08-30 14:13:0683
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简单介绍：该设备用于制备多组份、多层复合的致密的金属/非金属、金属氧化物/氮化物/氮氧化合物、非金属氧化物/氮化物/氮氧化合物等厚度均匀的薄膜材料，其中靶材可为金属/非金属的单组份或多组份材料（包含磁性靶材
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