| 测量范围 | Z轴（垂直）160μm / X轴（水平）17.5mm（0.71inch） |
| 分辨率Z轴（垂直） | 0．01μm/±20μm 0．02μm/±40μm 0．04μm/±80μm |
| 测量参数 | Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr 增加Rpc、Rk、 Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
| 显示范围 | Ra,Rq：0.005μm~16μm；Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,：0.02μm~160μm Rsm, Rs：1mm；Rmr：0~99%；Rsk：0~99% |
| 图形 | 支承率曲线，粗糙度轮廓，直接轮廓 |
| 滤波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P |
| 取样长度(lr) | 0.25,0.8,2.5mm |
| 评定长度（ln） | Ln= lr×n n=1~5 |
| 测量原理 | 位移式差动电感 |
| 触针 | 天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径 |
| 测力 | <4mN |
| 导头 | 硬质合金，滑行方向半径40mm |
| 滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s |
| 示值误差 | 不大于±10% |
| 示值变动性 | 不大于6% |
| 电源 | 内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电 |
| 外形尺寸 | 158x63.5x46mm |
| 重量（主机） | 约300g |
| 工作环境 | 温度：- 20℃ ~ 40℃ 湿度：< 90% RH |
| 储存运输环境 | 温度：- 40℃ ~ 60℃ 湿度：< 90% RH |
