WOP公司的FemtoFAB 是专为特定工业过程设计的交钥匙激光工作站——高度可靠，在高速、超高精度、无熔体微加工方面具有显著优势。根据特定的激光微加工应用选择和仔细调整配置。该系统受到 1 类等效激光安全外壳的保护，并通过高级 SCA 工程师软件窗口进行控制。
主要特点
高制造速度 - 高达 300 mm/s（可根据要求提供更多）
制造具有亚微米分辨率的复杂物体
高性能振镜扫描仪
脉冲密度控制
亚微米精度的精确物体定位
物体运动和激光脉冲在时间和空间上的同步。
的软件接口控制所有硬件单元
配置
激光源
样品定位系统
光束传输和扫描单元
激光功率和偏振控制
系统控制软件（根据要求提供自动对焦和机器视觉）
样品架和特殊机械装置（根据要求提供样品处理自动化）
光学平台
外壳（全部或部分）
除尘单元
激光系统通过微加工软件 SCA 实现自动化。
该软件是激光系统的重要组成部分，不单独出售。
参数 | 数值 |
脉冲持续时间 | 200 fs – 10 ps |
重复频率 | 1 kHz – 1 MHz |
平均功率 | 高达 20W |
脉冲能量 | 高达 2 mJ |
波长 | 1030 nm、515 nm、343 nm、258 nm、206 nm |
定位精度 | ± 250 nm |
行程范围 | 从 25×25 mm到 300×300 mm（根据要求更大） |
应用
激光微钻孔
激光微切割和划片
激光微打标
表面结构
玻璃垫片 钢化玻璃切割
蓝宝石批量打标 钛涂层选择性烧蚀
