在宇航空间电推进、超精密等离子体加工、半导体晶圆刻蚀等领域的技术极限指标与工艺稳定性均与等离子体精密诊断紧密相关，传统的探针法测量等离子体容易受到电、磁场干扰，测量的可重复性与可互换性差，测量结果通常仅有数量级上的指导意义；激光诱导荧光诊断系统能够显著提升等离子体测量结果的精度和全面性，是世界等离子体物理研究机构的重要测试研究工具。NEWPORT 公司LIF-VelocityTM-6700激光诱导荧光诊断系统使用了专门为速度分布函数测试研发的专用激光模组，在各测试性能指标方面大幅优于目前其他商用系统。
NewPort旗下的New Focus系列可调谐激光器拥有*的可调谐二极管激光系统，为了保证在整个输出光谱内处于单个模式和模式跳模自由，具有非常精细的调谐分辨率、高稳定性、低噪声和窄线宽。本激光诱导荧光诊断系统围绕TLBVelocity™系列专用定制窄线宽可调谐激光器设计组建，宽调谐激光器具有超宽粗调谐范围，其种子光具有超过50 mW的自由空间输出功率，可提供10 nm/s的调谐速度，无跳模的调谐范围高达60GHz。
Ø 可测量等离子体参数特性：离子/原子速度分布函数、速度、温度、亚稳态相对密度；
Ø 可测量物质种类：Xe I，Xe II等（可根据应用需求定制）
Ø 具有IV类激光级精确波长无跳模调谐功能；
Ø 具有对激光波长进行实时精密测量功能；
Ø 具有对速度零点的激光波长精确标定功能；
Ø 具有激光诱导荧光光谱一键测试记录功能；
Ø 具有等离子体参数特性标定以及一键分析功能。
应用领域
Ø 在空间电推进：霍尔推力器、离子推力器、MPD、VASIMR等
Ø 超精密等离子体加工：霍尔效应离子源，考夫曼型离子源等
Ø 半导体晶圆刻蚀：CCP刻蚀机、ICP刻蚀机等
Ø 核聚变物理：EAST等托卡马克核聚变装置
技术参数：
规格型号 | NEWPORT公司LIF-VelocityTM-6700 |
产地 | 美国 |
测试参数 | 离子/原子速度分布函数、速度、温度、亚稳态相对密度 |
激光波长粗调范围覆盖 | 834nm-835nm |
无跳模调谐范围 | 不低于60GHz |
输出激光功率 | 不低于400mW |
激光波长监测精度 | 优于0.75ppm |
激光波长监测可重复性精度 | 优于0.1pm |
单次测量速度分布函数宽度 | >40000m/s |
速度测量范围： | 0.5km/s~80km/s |
速度测量误差 | ±0.3km/s |
速度测量重复性 | 1.0% |
测量亚稳态密度相对值误差 | 15% |
测量离子/原子温度范围 | 600K~30000K |
速度零点标定偏差 | 不超过0.2pm |
基本尺寸：L（mm）×W（mm）×H（mm） | 1500mm×1200mm×750mm |
重量 | 200kg |
工作电源 | 外部交流220VAC/50Hz |
全系统功耗 | 不大于1450W |
LIF系统实物装置及典型测试应用结果
