激光诱导击穿光谱(LIBS)

什么是激光诱导激光光谱系统？

激光诱导击穿光谱(LIBS)是一种原子发射光谱仪。可以对固相、液相和气相基体中几乎所有元素进行定性和定量的分析。不同于传统的检测方法如ICP-OES或者XRF，LIBS在检测过程中无需进行复杂的样品制备。为了达到这个目的，LIBS采用高能量聚焦脉冲激光光束将样品激发至等离子态，对产生的对应元素发射谱进行分析。元素发射谱的波长与元素的种类直接相关，而元素谱线的强度则和元素的含量相关。

激光诱导击穿光谱技术特点

激光诱导击穿光谱技术系统在进行元素分析的时候，需要样品量极少，对样品的破坏性小；具有自清洁能力，几乎不需要样品制备；可以实现快速实时在线分析；具有遥测能力，可实现有毒、强辐射等恶劣环境中的远距离、非接触性测量；具有ppm量级探测灵敏度，可对痕量元素进行探测。

激光诱导击穿光谱产品构成：

多通道光谱仪MX2500+，凭借其高效的外部同步时钟，的协同了所有通道实现精确的延迟采集，准确的在原子激发辐射突出时采集到完整的原子谱线信号。同时，MX2500+可以应客户的需求在180-1100nm的范围内自由的配置光谱仪的通道数量和覆盖范围，系统自带的高效时钟可以的同步所有通道，并同时实现精确触发两台外部设备。（如激光器或微波增强设备）

激光器：常使用Nd:YAG激光器，激光器的脉冲宽度一般为纳秒量级，能够在极短时间内在极小面积上集中大量能量，作为系统激励源，将样品表面微量物质剥离并激发出等离子体。

样品仓：密闭稳定的仓式结构，一般会包含样品平台，激光聚焦和收光光路，气体吹扫系统，成像系统，激光安全保护等配套装置。

产品特点：

· 可搭配稳定高效的样品仓系统

· 可升级光谱模块

· 支持双脉冲激光器

· 宽光谱高分辨率测量，180-1100nm范围内多达16384个像元

· 高触发信号精度（±10ns）

应用方向：

· 环境监测（土壤污染，工业生产）

· 材料分析（金属，煤炭，塑料）

· 医学和生物化学（骨骼，牙齿）

· 国家安全（爆炸，生化）

· 艺术品鉴定（颜料，陶瓷，宝石）

 等离子体发光测量：

MX2500+不仅仅可以组建激光诱导击穿光谱系统，还可以用在各种各样的原子光谱测量场合。例如电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-OES）联合使用，作为燃烧炉后端光谱采集设备。

宽波段、高分辨的多通道光谱仪MX2500+也是激光的测量的应用中的一把利器。

大气压辉光放电过程中会生成等离子体，采用多通道光谱仪MX2500+测量等离子体，对使用大气压辉光放电的工作实现了实时过程监测。

等离子刻蚀是半导体及微系统制造超大规模集成电路制造过程中的关键步骤，使用多通道光谱仪MX2500+实时监测等离子体光谱，即可在刻蚀过程中精确的定位蚀刻终点，提升刻蚀的工艺水平。

技术参数