用途：
• 高分子材料表面的官能基附与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应，在表面生产-OH，>C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）。
同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH2等官能基。
• 晶硅圆蚀刻。
• 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
• 石棉预处理（膜过滤灰化）。
• 从电子设备到生化市场。
• 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
• 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
• 表面有机物去除。
特点：
• RF为200W的高性能输出类型（PR200）。
• 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
• 同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
• 等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
• 同步，自动调谐（PR200）。
产品优势：
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。
规格：
| 型号 | PR200 | PR301 | |||
| 方式 | DP模式、圆柱形腔体 | ||||
| 性能 | 发生器功率： | 0-200W | 0-300W | ||
| 发生器频率： | 射频RF13.56Mhz | ||||
| 发生器匹配方式： | 自动匹配（Auto matching) | 手动匹配（manul）
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| 构成 | 腔体材质： | 高硼硅玻璃 | |||
| 腔体内尺寸： | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |||
| 反应气体： | 一路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | ||||
| 控制方式： | 半自动控制 | ||||
| 真空度显示： | 数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。 | 模拟式压力表 | |||
| 配管材质： | SUS不锈钢以及特氟龙 | ||||
| 门： | 铰链门 | ||||
| 外形尺寸： | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |||
| 真空泵抽速： | 4m3/hour | ||||
| 电源规格： | AC220V 10A | ||||
| 重量： | 约25kg | 约34kg | |||
| 附属品 |
| 真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。 | |||
