精密级微定位平台
Q-Motion®平台的尺寸小,位置分辨率高达纳米级。压电电机驱动器原理及其电气操作的成本效益好,可定制
PIShift压电陶瓷惯性驱动器
静止状态下自锁,无热量产生。速度达70度/秒。保持力矩为6毫牛米,驱动力矩为5毫牛米
真空和无磁性环境
所有Q-Motion平台都适用于高真空中的操作,真空可达10-6 百帕。此外,超高真空变型可适用于10-9 百帕。还可按需提供无磁性变型
应用领域
工业和科研。用于计量、显微镜、显微操纵、生物技术和自动化
初步数据 | | | | | |
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| 小型转台带用于闭环操作的位置传感器 | 小型转台不带位置传感器 | 小型转台,不带位置传感器,用于超高真空高达10-9 百帕 | ||
主动轴 | θZ | θZ | θZ | ||
旋转范围 | >360 | >360 | >360 | ° | |
集成传感器 | 增量编码器 | – | – | ||
传感器分辨率 | 0.55 | – | – | 微弧度 | |
最小位移 | 2.2 | 100* | 100* | 微弧度 | 典型值 |
单向重复精度 | 3 | – | – | ||
速度,开环 | 70 | 70 | 70 | 度/秒 | |
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负载容量 | 1 | 1 | 1 | 牛 | |
保持力矩,断电 | 6 | 6 | 6 | 毫牛米 | 最小 |
力矩 | 5 | 5 | 5 | 毫牛米 | 典型值 |
长度 | 22 | 22 | 22 | 毫米 | |
宽度 | 22 | 22 | 22 | 毫米 | |
高度 | 10 | 10 | 10 | 毫米 | |
转台直径 | 22 | 22 | 22 | 毫米 | |
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电机类型 | 压电惯性驱动器 | 压电惯性驱动器 | 压电惯性驱动器 | ||
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工作温度范围 | 0 到 40 | 0 到 40 | 0 到 40 | °C | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
不含电缆的质量 | 15 | 12 | 12 | 克 | |
电缆长度 | 1 | 1 | 1 | 米 | |
连接器 | Sub-D | Sub-D | Sub-D | ||
推荐控制器 | E-871,E-873 | E-870 | E-870 |