advantages
产品优势
耦合传动、SCARA手臂结构
占用空间小、伸缩比大高精度、高洁净度
伺服驱动、洁净传动及润滑个性化设计
用户可定制手指及接口系统网络化控制
传片效率高、碰撞保护质量可靠
S2、F47,MCBF大于1000万次
Application areas
产品应用领域
硅晶圆搬运
LED蓝宝石基片搬运
parameter
产品参数
-
结构形式
柱坐标型/SCARA型
-
直径
2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/
-
负载重量
≤0.5kg
-
自由度数
4
-
手数量
2
-
回转直径
586mm
-
运动范围-升降轴(Z轴)
450mm
-
运动范围-回转轴(T轴)
340°
-
运动范围-伸展轴(R1、R2)
660mm
-
节拍-回转轴(T轴)
0.7s/180°
-
节拍-伸展轴(R1、R2)
1.2S/450mm
-
洁净度
ISO CLASS 1
-
主机重量
70kg
-
行程
660mm