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DVH系列隔膜阀

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称中科艾尔(北京)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/4/17 18:19:03
  • 访问次数11
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半导体电抛光技术产品与核心解决方案的专业服务商。公司创始人 20 年以来,始终专注于半导体超高纯管阀件研发、制造和销售的一站式服务,公司已经快速成长为打破国际垄断,服务“天宫”工程,达到规模化量产的小巨人型企业,是专业的国产半导体级超高纯气路零配件的研发、生产企业。 打造成为世界半导体高纯超净管阀件产业的企业。锤炼汇集了一支集“中科院基因、日本精工技术、中国本土创新”于一体的专业团队。公司由中科院微电子所战略入股,团队成员有中科院微电子所研究员、日本质量管控专家以及行业战略咨询顾问等。半导体级气路关键部件。超高纯减压阀、阀门 、EP 管和接头等系列产品打破了国际垄断,为半导体气路零配件的国产化进程,鼎力增速;经过精密机加、抛光、清洗、组装、封装测试等工艺流程,100 余道精细化制造工序,产品满足半导体行业一致性标准,并于2021年成为中芯国际的气路零配件(国产)合格供应商,供应商编码:315000。
减压器
工作压力:真空至300psig| 材质:316L/316L(VIM+VAR) | 工作温度:-10℃~70℃
DVH系列隔膜阀 产品信息
产品介绍 

 

DVH 系列隔膜阀,膜片式硬密封结构,超低漏率;适用于超高纯度气体,半导体用(毒、腐)气体,满足超大规模集成电路的工艺气体要求。

 

主要部件材料

 

阀体                       316L /316L(VIM+VAR)
膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫                   PCTFE 

阀体                      6063

 

工作条件

 

工作压力                真空至 300psig
爆破压力                3000psig
流量系数                0.5 
工作温度                -10 ~ 70℃
内漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
内表面粗糙度         Ra≤0.1μm

 

产品特点

 

适合超高纯度气体应用
手柄带开关状态指示窗口
手柄可旋转角度为 180° ( 可选 90° )
手柄通过提拉后方可旋转开启,操作安全
每台阀门进行单独的氦质谱检测
超长使用寿命(50 万次实验值)
可选配防误操作 -LOTO
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