紧凑型紫外线臭氧清洗机采用不需要任何溶剂的干式清洗技术，对清洗表面没有损伤。采用大功率低压石英汞灯，产生波长185nm和254nm的紫外线，185nm的光可以将氧分子O2转变成活性的臭氧分子O3，254nm的光同时激发清洗表面的有机分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在时间短，且同时也被254nm的光分解，因此可调节样品台到灯管的距离来优化性能。
紧凑型紫外线臭氧清洗机技术参数：
| 输入功率 | AC 110V or AC 208~240V( 可选的) |
| 紫外灯 | • 固体金属双波汞灯 • 紫外灯功率：zui大55W。 • 波长：254nm和185nm • 紫外灯使用寿命：2500小时 • 紫外线照射面积：100×100 mm（4”×4”） • 峰值紫外线强度：4.6毫瓦/平方厘米。 |
| 腔室和样品台 | • 外形尺寸：9 1/2”×7 7/8”×6” • 抽屉尺寸：5 1/4”×5 1/4”×1” • 抽屉到灯的距离：1 1/16“ • 从基座到灯的距离：5/16“ • 硼硅酸盐玻璃基座：4”×4”×3/4” • 18号钢制底盘和盖板，粉末涂层 • 总重量：9磅 |
| 合规 | CE认证 |
| 保证 | 一年有限保修，终身支持(耐热玻璃室不保修) |
| 环境要求 | • 只在室内使用;海拔高度可达5,562英尺; • 温度范围41-104华氏度; • zui高相对湿度80％，高达87 华氏度线性降低至50％相对湿度，华氏104度; • 主电源波动不超过额定电压的10％;过压类别II; • 污染等级2;臭氧水平（环境）测量<45 ppb。 |
| Application | • 清洁SPT，AFM**和表面的分子污染 • 固化UV-粘合剂 • SAM表面的紫外光图案化 • 氧化PDMS • 蚀刻，图案，锐化 • 清洁MEMS器件 • 清洁衬底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶体衬底 |
