产品特性
■主要针对引线框架特性,配备自动取片、传输、送片等辅助功能
■高自动化,减少人为因素,降低二次污染
■高性价比,通过组件转换,可以兼容不同料片清洗
■清洗时间短,无溅射损伤和高湿损伤
■屏幕动画显示全线工作状态,运行过程实时监控
■设备参数分级管理,提高操作安全性
■完善的故障报警功能,提示故障项目和故障工位,便于维修
产品型号AW-ZP04AW-ZP04A
外形尺寸(不含报警灯塔)1650(W)×1000(D)×1650(H)mm
反应仓尺寸(铝合金)280(W)×450(D)×50(H)mm350(W)×450(D)×50(H)mm
等离子体发生器频率13.56MHz,功率0-600W可调,自动阻抗匹配
气路系统
标准配置2路(O2/Ar/H2),MFC质量流量计控制,气体流量0-200ml/min可调
控制系统触摸屏+PLC全自动控制,手动+自动两种操作模式
兼容料片尺寸长150-270mm,宽30-80mm长105-155mm,宽30-80mm
清洗效率
4道4片,UPH约500片/小时
4道8片,UPH约1000片/小时
针对产品工艺集成电路IC封装工艺LED封装工艺
备注
可按客户需求弹性设计