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PCE-6 小型等离子清洗机

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称南京瑞菲科机电科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/10/14 10:43:08
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南京瑞菲科机电科技有限公司成立于2013年,公司总部坐落于南京市秦淮区普天科技园内 ,是一家专注于能源化学,电子、通信、半导体领域的测量仪器仪表供应商。公司在美国、德国、英国、日本及港台地区拥有许多优秀的长期合作伙伴,所销售的仪器仪表包括FLUKE、Micromeritics Tektronix、Keysight、Agilent、Thermo Fisher、Leica、Horiba、Sample、JEOL、PE、科晶等的测试仪器仪表。公司具有十分充实的仪器存货,因此可以保证广大客户的多样化选择及需求,也能让您现场体验操作。我们销售的每一台仪器都附有制造厂商出具的计量合格证书及质量保证书。保证产品功能完好,附件齐全,指标达到出厂标准。公司同时设有维修部。每台仪器都提供三年或一年的保修,终身维护,可免除您的后顾之忧。公司本着“客户至上、诚信为本、互利互惠”的经营理念, 深深得到广大客户的认可、信赖与支持,拥有着覆盖全国的营销服务网络,致力于为客户提供专业、方便、快捷的本地化服务。在公司的带领下,公司得到了快速的成长,我们为众多的大学、大专院校、工厂、研究所、企事业单位及一些公司提供了周到的服务及优质的产品,同时公司与一些产品的供货商建立了良好的合作关系。
孔隙度分析仪
PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调
PCE-6 小型等离子清洗机 产品信息

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

功能特点
  • 拥有6英寸清洗腔室,可清洗约5英寸直径的基片
  • 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间
  • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上
  • 设有一个三通阀,可大体控制进气流量
技术参数
主要参数

 

● 输出功率:7.2W、10.2W、29.6W

● 总功率:<600W

● 射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节

● 电源:AC220V 50Hz

● 

 

等离子腔体

 

● 高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗

● 带观察窗的铰链式门,便于样品加载和观察

●  

 

控制面板

 

● 控制功能:清洁时间,射频功率,真空泵。

● 

 

真空泵(标配)

 

● 真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵

● 

 

等离子清洗机及刻蚀的方法

 

 

惰性气体

 

● 通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)

● 等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体

 

可选配件

 

● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PCE-6等离子清洗机可以与2路混气系统组合

● 您可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基片

●  

 

外形尺寸

 

400mm×300mm×300mm

 

净重

 

10.2kg

 

认证

 

CE认证

 

质保期

 

 

● 一年保修,终身技术支持。

● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

                        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


 


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