工作条件：
1.工作环境温度：5-35℃；
2.工作湿度：≤70%；
3.电源：220V/50/60Hz。
主要应用：表面清洁、表面活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、去除表面有机物、疏水实验、镀膜前处理等。
技术参数：
1）采用美国霍尼韦尔真空压力传感器；
2）采用美国DWYER公司气体浮子流量计，流量显示准确；
3）双路气体控制方式，气体控制更稳定；
4）弧形电极板设计，激发更；
5）舱体、管路、阀体全部采用优质不锈钢材质；
6）采用电容式等离子激发，内置激发电极板；
7）手动、自动两种工作模式，可根据客户需求任意切换；
8）触摸按键+4.3寸大屏幕彩色液晶显示屏设计；
9）智能程序化控制，可编程自动完成整个实验过程；
10）无需任何耗材，无需特殊进行维护；
11）舱体尺寸:300x150（直径）mm；
12）舱体容积: 2.6L；
13）射频频率: 13.56MH；
14）射频功率:10-150W无极可调；
15）电源:220V 50/60hz；
16）电流:1.2A；
17）时间设定:0-99分59秒；
18）气体稳定时间: 1分钟；
19）真空度:100pa以内；
20）等离子激发方式:电容式；
21）外形尺寸:460X580X220mm(L*W*H)
22）整机重量:15Kg；
23）双级旋片式真空泵:
24）一体式缸体，大油窗，防返油设计。
25）抽气速率：7.2m³/h/小时；
26）极限压力2X10ˉ¹Pa，电机功率370W，加油量330ml。
27）进排气口连接口：KF16/25法兰。
系统配置：
1）主机 1台
2）真空泵 1台
3）真空软管 1根
4）舱内托盘 1块
5）电源线 2根
6）保险管 2个
7）说明书 1本
8）合格证 1份
9）保修单 1份
