本机适用范围
BG系列是专门用于晶圆研磨前的贴膜工序;
适用保护膜可兼容蓝膜、UV膜、PET 衬底膜及其它单/双层膜。
本机特点
- 本设备采用精密导轨,进口温控系统,使机器整体性能稳定,操作方便高效。
- 防静电特氟龙处理的工作盘、防静电滚轮材质、去静电离子风棒三重防护可有效防止芯片受到静电损伤。
- 工作盘具有加热功能,使膜的粘着力更强。
- 滚轮的压力可通过调节气压调节、恒定可控,贴膜更平整。
- 配备圆周刀和横切刀,采用进口刀片,寿命更长。
- 无需更换工作盘,通过旋钮开关即可转换不同尺寸产品的贴膜。
- 圆周刀具有加热功能,能够更好的割膜。
- 上翻盖有液压弹簧支撑,操作省力,安全。
- 客户可选配手动揭膜功能,作为手动揭膜台用
与同类设备优势
采用电子方式控制贴膜滚轮的压紧和松开,比传统行程开关控制更可靠,寿命更长。
隐藏的膜预张紧结构,可使贴膜更平整,无气泡。
圆切割刀切割方式改进,增加了气动装置控制割刀位置,保证了切割始终贴着硅片边缘,尤其解决了带直边硅片切割不净的弊端。
规格参数
型号 | WM - 100 | WM -200 | WM-3 00 | 备注 |
适用产品尺寸(Inch) | 6 | 8 | 12 | 可定制特殊品 |
应膜的种类 | UV膜、蓝膜 | UV膜、蓝膜 | UV膜、蓝膜 | 选配 |
台盘加热范围(°C) | 室温~80 | 室温~80 | 室温~80 | |
机器尺寸(mm) | 400*850*350 | 430* 850*350 | 900*1000* 600 | |
电源(V) | 单相AC 220 | 单相AC 220 | 单相AC 220 | 可定制AC100V |
压缩空气(MPa) | 0.5~0.8 | 0.5~0.8 | 0.5~0.8 | |
设备重量(KG) | 90 | 90 | 120 |