ZED53可定制差动电涡流位置传感器特点：
(1)、无磨损与非接触测量，差动原理
(2)、高精度（优于±0.3 %FSO）与高分辨率（<0.002 %FSO）
(3)、高温度稳定性（优于±0.003 %FSO/°C）
(4)、安装简单，um级的安装精度
(5)、支持探头定制（探头的量程、形状、材料、导线长度可以定制）
(6)、可测铁磁与非铁磁材料
(7)、适用于复杂的工业环境：污垢、压力、 高/低温度
在涡流差动系统中，感应电桥中的两个线圈安装在两个独立的传感器中。并不是一个有源线圈和一个参考线圈，而是两个传感器都包含有源线圈，这两个传感器通常放置在目标的相对两侧或目标枢轴点的相对两侧。当目标靠近一个传感器时，它会远离另一个传感器，从而增加电感电桥一条腿的阻抗，并降低另一条腿的阻抗。这种推挽效应放大了每位移的线性输出，并消除了对增加噪声和漂移的求和放大器的需要。因此，差分系统比单端系统提供更高的分辨率和热稳定性。
影响测量精度的因素
(1)、目标板尺寸：目标板尺寸应大于探头尺寸的3倍，且在探头直径的3倍空间内存在除目标物外的其他导电材料将造成线性的恶化；
(2)、目标材料：被测目标材料如果不使用的材料将使非线性、温度稳定性与参数表产生差异，用户可在重新标定之后正常使用；
(3)、目标厚度：目标导体的厚度至少是4倍肌肤深度以上，对铝合金材料目标厚度大于0.4mm。如果两个测量探头测量目标同—位置的正反面，建议目标厚度大于1mm。
(4)、调零过程：安装探头时按照调零步骤进行操作，在第1、2步骤中尽量准确的将电压调整到Vref和0V。如果零点位置偏差较大可能造成非线性、温度稳定性的恶化；
(5)、探头匹配：为保证传感器达到出厂标定的性能指标，4个测量探头的编号与通道编号对应连接，不可随意配对安装；
(6)、固定结构：测量探头的固定结构应尽量稳定和紧凑,复杂的传动链和热膨胀系数高的框架材料将恶化测量的温度稳定性；
(7)、角度偏差：目标板在运动过程中与测量探头表面不平行，造成线性的恶化，但对噪声和温漂系数影响不大，用户可在重新标定后正常使用。
屏蔽探头和非屏蔽探头
（1）、非屏蔽探头
线圈用PEEK材料封装 电磁场分布范围大 测量范围大需要更大的被测面尺寸 对相邻导体的抗干扰性差 |  |
（2）、屏蔽探头
PEEK封装与金属外壳平齐 电磁场分布范围小，测量范围小 对相邻导体的抗干扰性强 |  |
校准
为了保持ZED53传感器具有的综合性能（特别是温度稳定性），传感器不提供用于调整灵敏度和零位的电位器。如果遇到更换目标材料、目标尺寸偏小、测量探头周围有其他金属等特殊情况需要重新标定，则可以记录下位移与输出电压的对应关系，利用数字校正的方式进行优化。通常情况下，数字校正比模拟校正更能保持传感器的综合性能。
安装方式
（1）、螺纹探头
螺纹固定是比较常用的固定方式，有以下两种固定方式，探头需要伸出金属螺母或固定板一段距离，具体数值见探头尺寸图。
由于螺纹间隙的存在，探头的安装角度可能存在一定的误差，选配和探头接触紧密的螺母可以一定程度上减小误差。
（2）、光杆探头
光杆探头可以采用圆周抱死固定，可提供稳固的固定效果。探头需要伸出金属夹具一段距离，具体数值见探头尺寸图。
ZED53可定制差动电涡流位置传感器应用领域：
快速转向镜
伺服控制位置反馈
舞台定位
角位移指示
X-Y 轨道位置反馈
触控笔位置
磁悬浮轴承定位
精密构件平衡
集成电路制造平台定位
……
ZED53可定制差动电涡流位置传感器技术规格：
| 型号 | ZED53-0.2 | ZED53-0.5 | ZED53-0.8 | |
| 量程 | ±0.2 mm | ±0.5 mm | ±0.8 mm | |
| 分辨率 | @NULL | <0.003 %FSO | <0.002 %FSO | <0.002 %FSO |
| @FSO | <0.004 %FSO | <0.003 %FSO | <0.003 %FSO | |
| 线性 | < ±0.3 %FSO1) | < ±0.5 %FSO | < ±1 %FSO | |
| 模拟输出带宽(-3dB) | 10 kHz | |||
| 温度稳定性 | @NULL | <±0.005 %FSO/°C | <±0.004 %FSO/°C | <±0.003 %FSO/°C |
| @FSO | <±0.02 %FSO/°C | <±0.03 %FSO/°C | <±0.03 %FSO/°C | |
| 最小间隙 | 0.1 mm | |||
| 输出电压 | -5V ...+5V | |||
| 供电 | 12...24 V, 0.4 W | |||
| 目标材料2) | 铁磁性、非铁磁性材料 | |||
| 使用温度 | 电路 | -40...+60 ℃ | ||
| 探头 | -55...+100 ℃ | |||
| 1) FSO：Full Scall Output（满量程输出） 2) 出厂标定材料：6061铝和Q235钢 | ||||
ZED53可定制差动电涡流位置传感器测量原理：
涡流原理：在电感式位移传感器中，涡流原理占有的地位。通过涡流进行位移测量是基于从振荡电路中提取涡流能量。传感器探头的核心是线圈，给线圈通以高频交流信号，线圈周围就会形成磁场；如果将导体放置在该磁场中，根据法拉第感应定律，则会感应出涡流场，该电涡流场反过来影响磁场强度，并最终改变线圈的电感和电阻。线圈和导体的距离越近，在导体内形成的电涡流强度就越大，线圈电感和电阻变化量就越大，因此线圈的电感和电阻值与距离产生了对应关系。传感器控制器内部的精密解调电路可以获取线圈的信号幅度和相位位置的变化来计算线圈的阻抗信息，进而实现位移测量。
差分原理：差分测量系统是精密测量技术的重大进步。 它们提供出色的分辨率、可重复性和归零精度，用于检测导电目标相对于一对非接触式传感器的对齐/居中位置。对于差分测量应用，每个通道有两个精确匹配的传感器位于目标的相对两侧或两端。在这种传感器到目标的关系中，当目标远离一个传感器时，它向另一个传感器移动等量。输出为差分和双极。同一电桥的相对腿上的电子匹配传感器提供了的热稳定性。
相位解调法：传感器能达到超高分辨率的原因是使用了相位解调法。常用的解调电路中使用较多运放，不可避免的引入很多系统噪声。而相位解调法具有超高的灵敏度，不需要高增益的运放即可达到理想的输出范围。
