SEM扫描电子显微镜
用于材料和生命科学的扫描电子显微镜
EVO系列将高性能的扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起， 同时能够吸引经验丰富的用户以及新用户。无论是在生命科学， 材料科学， 或例行的工业质量保证和失效分析领域，凭借广泛的可选配置， EVO 都可以根据您的要求量身定制。
1、显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案
2、不同的真空室大小和可满足所有应用要求的载物台选项-甚至是大型工业零部件样品
3、使用LaB6灯丝，能够得到优异的图像质量
4、对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能出色
5、可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求
蔡司 EVO 应用案例
生产与装配企业
质量分析/质量控制
失效分析/金相分析
清洁度检查
颗粒的形态和化学分析， 以满足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的标准
非金属夹杂物的分析
锌磷酸盐电涂层， 高真空模式下使用 SE 探测器成像
汽车座椅垫泡沫， 可变真空模式下使用BSE探测器成像，样品未喷涂导电层
不锈钢断口表面， 高真空模式二次电子成像
钢铁和其它金属
对金属样品和夹杂物的结构、化学和结晶学进行成像和分析
相、颗粒、焊缝和失效分析
镀锌低碳钢的剖面， 使用 EVO 15 上的二次电子探测器进行成像
用F80砂砾铝粉喷砂后的S355钢表面
采用选择性激光熔化的方法制备的钛合金 (Ti-6Al-4V)的表面， 能够看出充分熔化区域的旁边有未融化的 Ti-6Al-4V 粒子和其他材料
材料科学研究
用于研究导电和不导电材料样品的特征
自愈合矿物的扩展和裂纹架桥网络， 形成了类似花状的水镁矿结构，在12kV下使用二次电子探测器成像
电池组件中的石墨烯泡沫结构， 在高真空下使用 二次电子探测器成像
航空航天复合材料，在10 kV可变压力模式下使用 C2D 探测器成像
技术参数
EVO系列
真空室尺寸选择
蔡司EVO 10 | 蔡司EVO 15 | 蔡司EVO 25 | |
选择 EVO 10（可选配BSD和EDS）是您想以一个非常实惠的价格购买扫描电子显微镜的切入点。即使这个EVO真空室很小，它也不同于台式电镜。您现在在 EVO 的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备。
| EVO 15 充分展示了 EVO 家族的灵活性概念， 并擅长于分析应用。选择 EVO 15 更大的真空室， 并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式， 你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案。 | EVO25 是工业的主力解决方案， 它有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能， 它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外， 大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。 | |
样品高度 | 100 mm | 135 mm | 210 mm |
样品直径 | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
电动载物台行程XYZ | 80 x 100 x 35 mm
| 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或 80) mm |
高真空模式 (HV) | · | · | · |
可变压力模式 (VP) 不导电且不喷涂导电层样品的高质量成像和分析 | · | · | · |
扩展压力模式 (EP) | · | · | · |
