M81 划片贴膜机
该设备是手动上下料,手动拉膜,手动贴膜,自动压膜,手动切割的贴膜设备,适用于半导体晶圆划片制程前的贴膜工序。
优势:
兼容6、8英寸划片环及3、4、5、6、8英寸晶圆,也可定制。
省膜,做6、8英寸划片环可达到同等的省膜。
贴膜力由气缸推力产生,贴膜压力可参数化调整。
防静电特氟龙处理真空吸附台,温度室温~100℃可控。
晶圆放置台采用浮动设计,且高度可调,因此可兼容贴更大范围厚度的晶圆,且浮动的设计能更好地保护晶圆。
晶圆定位采用标线定位。
离型层自动缠绕回收,回收力可调。
膜料与放膜料筒之间的锁紧无需借助任何工具。
正常贴磨过程中只需用到最右边的按钮,操作简单。
采用氮气弹簧撑,操作更省力。
主要元器件均采用进口品牌。
规格:
型号 | M81 |
划片环尺寸 | 6、8英寸,也可定制 |
晶圆规格 | 兼容4、5、6、8英寸晶圆,也可定制 |
晶圆厚度 | 150um - 800um |
蓝膜或UV膜 | |
膜种类 | 宽度≤300mm, 膜料外径≤200mm, 厚度0.05mm-0.2mm |
电力供应 | AC220V ,50/60 Hz, 5A |
功率 | 小于400W |
压缩空气 | 0.5Mpa清洁干燥压缩空气 |
外形尺寸 | 560mm×860mm×360mm |
净重 | 50kg |
性能:
晶圆收益:≥99.9%
贴膜质量:没有气泡(不包括碎粒气泡)
产能:≥90片/小时