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用于粗真空至高真空应用可靠设计确保免维护运行经济快速弹簧关闭执行器在断电情况下为系统提供保护KF 法兰连接使安装十分方便单盘管紧凑构造快速循环提供净化铝(大气压至 10-6 torr (mbar))或镀镍(大气压至 10-9 torr (mbar))型号
用于粗真空至高真空应用
可靠设计确保免维护运行
经济
快速弹簧关闭执行器在断电情况下为系统提供保护
KF 法兰连接使安装十分方便
单盘管紧凑构造
快速循环
提供净化铝(大气压至 10-6 torr (mbar))或镀镍(大气压至 10-9 torr (mbar))型号
技术参数
09_Vacuum_Measurement.pdf
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